Тонконогий В, Киркопуло Е. РАЗРАБОТКА ПРОГРАММНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ КОМПЬЮТЕРНО–ИНТЕГРИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ УСТАНОВКОЙ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ. ATBP [інтернет]. 11Лис2019 [cited 27Чер2026];11(3):32-1. Available from: https://journals.ontu.edu.ua/index.php/atbp/article/view/1497